{"id":3582,"date":"2020-11-29T02:30:35","date_gmt":"2020-11-29T00:30:35","guid":{"rendered":"https:\/\/www.gedichtladen.de\/blog\/?p=3582"},"modified":"2023-12-08T22:59:06","modified_gmt":"2023-12-08T20:59:06","slug":"euphorisiert","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.gedichtladen.de\/blog\/archive\/3582","title":{"rendered":"Euphorisiert"},"content":{"rendered":"

Euphorisiert<\/strong><\/p>\n

In all dem Coronasalbadern war es der Tagesschau am 25. November immerhin 15 Sekunden wert, vom Deutschen Zukunftspreis zu berichten. Dieser wurde zum Durchbruch einer Technologie verliehen, die sich EUV (Extreme Ultra Violett) nennt. Ernst Abbe aus Jena, der Begr\u00fcnder von Carl Zeiss als Stiftung, war es, der den Zusammenhang zwischen Aufl\u00f6sungsverm\u00f6gen und der Wellenl\u00e4nge und der Blende erkannte. Er wandte das auf die Mikroskopie an und hat, da dort die Wellenl\u00e4nge als gegeben anzusehen ist, weil das Licht ja sichtbar sein muss, versucht die Blende zu vergr\u00f6\u00dfern, was in der Optik auch als Apertur bezeichnet wird. Diese Mikroskope mit vergr\u00f6\u00dferter Apertur stellten sich aber zun\u00e4chst als schlechter heraus als die herk\u00f6mmlichen, weil man die Optikrechnung und Fertigung noch nicht so beherrschte. Er lie\u00df sich aber nicht entmutigen und baute dann die besten Mikroskope der Welt.<\/p>\n

Wie man durch das Mikroskop m\u00f6glichst feine Strukturen sehen will, ist es umgekehrt in der Mikrochipherstellung das Ziel, m\u00f6glichst feine Strukturen zu erzeugen, ist also so etwas wie dessen Umkehrung. Die Feinheit der Strukturen bestimmt letztlich, wie hoch der Integrationsgrad ist, denn dieser bestimmt die Gr\u00f6\u00dfe der Bauelemente. <\/p>\n

Nun hat man bei elektromagnetischer Strahlung, von der das sichtbare Licht nur einen kleinen Teil ausmacht, die M\u00f6glichkeit verschiedene Wellenl\u00e4ngen zu nutzen, und so lag es nahe, immer k\u00fcrzere Wellenl\u00e4ngen zu verwenden. Das k\u00f6nnte bis zur R\u00f6ntgenstrahlung gehen, aber diese ist schlecht durch Fotolacke aufzuhalten und eignet sich daher nicht. Zun\u00e4chst hat man den ultravioletten Bereich erschlossen, erst mit entsprechenden Lampen und sp\u00e4ter mit Gaslasern, wobei man auch noch ber\u00fccksichtigen muss, dass die Luft tiefe UV Strahlung nicht durchl\u00e4sst. In der Untersuchung von Plasmen ist man darauf gesto\u00dfen, dass diese auch extremes Ultraviolett emittieren, eben EUV, und in diesem Bereich gibt es auch noch verf\u00fcgbare Fotolacke. Zwar muss das EUV auch im Vakuum gef\u00fchrt werden, weil es von der Luft absorbiert w\u00fcrde, aber dieses Problem ist l\u00f6sbar. Da es aber kein Material gibt, das in diesem Spektralbereich transmittieren w\u00fcrde, kamen nur Spiegeloptiken in Frage. Vor etwa 20 Jahren wurde auch dieses Problem gel\u00f6st, indem sog. Multilayerspiegel erfunden wurden, deren Herstellung aber nicht gerade einfach ist und die erreichten Reflexionsgrade auch nicht berauschend. Als weiteres Problem kommt hinzu, dass die Fertigungsgenauigkeit der Spiegel im Bereich des Atomdurchmessers liegt.<\/p>\n

Da standen vor den Forschern im Jahre 2000 gleich mehrere Herausforderungen, man musste Quellen f\u00fcr diese Strahlung entwickeln, die nur an Synchrotrons oder Freien Elektronenlasern (noch heute in den Kinderschuhen) verf\u00fcgbar waren oder eben aus lasererzeugten Plasmen bestehen. Diese dritte M\u00f6glichkeit wurde nun f\u00fcr Maschine, die einen etwas unaufger\u00e4umten Eindruck macht, genutzt. Als Laser fiel die Wahl auf einen CO2 Laser, den die Trumpf GmbH herstellte (nicht zu verwechseln mit der Schokoladenfirma). Als zweites musste ein optisches System berechnet werden, wo sich offenbar das Jenenser Fraunhoferinstitut verdient gemacht hat, und die dritte Komponente ist die Spiegelherstellung, bei der Zeiss federf\u00fchrend war.<\/p>\n

Unsere Firma in Berlin hat sich eigentlich nur mit den Spiegeln besch\u00e4ftigt und aufw\u00e4ndige Pr\u00fcftechnik daf\u00fcr gebaut. Wir k\u00f6nnen uns dabei zugutehalten, dass wir von Anfang an mit dabei waren, weil wir zu diesem Zeitpunkt schon \u00fcber weitreichende Erfahrungen in der Synchrotrontechnik verf\u00fcgten.<\/p>\n

Trotzdem schwimmt in all den Freudentr\u00e4nen ein Wermutstropfen, denn Deutschland ist nicht der Systemintegrator, der dann wohl das Gesch\u00e4ft macht, aber immerhin ist es eine europ\u00e4ische Firma, die aus dieser Neuheit vielleicht Milliardengewinne generieren kann. Wohin dieser Systemintegrator seine F\u00fchler \u00fcberall ausgestreckt hatte in der gut subventionierten deutschen Forschung, ist anl\u00e4sslich der Preisverleihung klargeworden, aber man h\u00e4tte es als Insider gern eher gewusst. Den staatlichen F\u00f6rderern muss das schon eher klar gewesen sein, dass man sich somit mit der Zuliefererrolle zufriedengibt.<\/p>\n

Aber auch an der verl\u00e4ngerten Werkbank kann man sich wohlf\u00fchlen, und wenn wir schon ansonsten nur noch Museales zu bieten haben, hier kommen schon ganz tolle Ideen zum Tragen. Wie viele da mitgewirkt haben in unserem Heimatland, wird zwar immer noch nicht so recht deutlich, aber wir haben eben zur Zeit andere Sorgen, erst mal m\u00fcssen die Weihnachtseink\u00e4ufe get\u00e4tigt werden, und das eben unter den erschwerten Bedingungen.<\/p>\n

Allen einen gesegneten ersten Advent.<\/p>\n

Christian Rempel, Zeuthen, den 29.11.2020<\/em><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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